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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN,INSBESONDERE INTEGRIERTEN FESTKOERPERSCHALTKREISEN
摘要
申请公布号 DD142626(A1) 申请公布日期 1980.07.02
申请号 DD19780208044 申请日期 1978.09.25
申请人 ZOEBISCH,JOACHIM,DD;MOEHR,HANS,DD 发明人 ZOEBISCH,JOACHIM,DD;MOEHR,HANS,DD
分类号 G03F7/20;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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