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发明名称 DEVICE FOR PRODUCTIVE PREPARATION OF EPHITAX LAYERS FROM THE LIQUID PHASE
摘要
申请公布号 CS198352(B1) 申请公布日期 1980.06.30
申请号 CS19750003342 申请日期 1975.05.14
申请人 NOHAVICA,DUSAN,CS 发明人 NOHAVICA,DUSAN,CS
分类号 H01L21/36;(IPC1-7):H01L21/36 主分类号 H01L21/36
代理机构 代理人
主权项
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