发明名称 WERKWIJZE VOOR HET BEHEERSEN VAN STRUKTUURHERSTEL IN HALFGELEIDERS.
摘要
申请公布号 NL7920078(A) 申请公布日期 1980.06.30
申请号 NL19790020078 申请日期 1979.08.14
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED TE NEW YORK. 发明人
分类号 H01L21/263;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/324;(IPC1-7):01L21/26 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
主权项
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