| 发明名称 |
VAPOR PHASE GROWTH PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5586113(A) |
申请公布日期 |
1980.06.28 |
| 申请号 |
JP19780161623 |
申请日期 |
1978.12.23 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NOGAMI MASAHARU;KOMENO JIYUNJI |
| 分类号 |
H01L29/80;C30B25/02;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205;H01L21/338;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L29/80 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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