| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PREPARATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5585041(A) |
申请公布日期 |
1980.06.26 |
| 申请号 |
JP19780157444 |
申请日期 |
1978.12.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OSA YASUNOBU;SHIRASU TATSUMI |
| 分类号 |
H01L21/822;H01L21/28;H01L21/76;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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