发明名称 METHOD OF CHECKING LINEAR DIMENSIONS OF MICROOBJECTS
摘要
申请公布号 SU742705(A1) 申请公布日期 1980.06.25
申请号 SU19772539715 申请日期 1977.10.10
申请人 INST ELEKTRONIKI AN BRUSS SSR 发明人 ALEKSANDROV VLADIMIR K,SU;BIENKO YURIJ N,SU;ILIN VIKTOR N,SU
分类号 G01B11/02;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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