发明名称 Sputter target
摘要 The disclosure relates to an improved sputter target for use in the deposition of hard coatings. An exemplary target is given wherein titanium diboride is brazed to a tantalum backing plate using a gold-palladium-nickel braze alloy.
申请公布号 US4209375(A) 申请公布日期 1980.06.24
申请号 US19790063008 申请日期 1979.08.02
申请人 U S OF AMERICA ENERGY DEPARTMENT 发明人 GATES, WILLARD G;HALE, GERALD J
分类号 B23K35/30;C23C14/34;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 B23K35/30
代理机构 代理人
主权项
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