METHOD OF CONTROLLING PLASMA,申请号JP19780154930-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF CONTROLLING PLASMA
摘要
申请公布号	JPS5583200(A)	申请公布日期	1980.06.23
申请号	JP19780154930	申请日期	1978.12.18
申请人	TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO	发明人	YOSHIDA KATSUYA
分类号	G21B1/21;G21B1/00;G21B1/11;G21B1/25;H05H1/12	主分类号	G21B1/21
代理机构		代理人
主权项
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