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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5582782(A) 申请公布日期 1980.06.21
申请号 JP19780156689 申请日期 1978.12.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOBAYASHI KOUICHI;OGAWA TETSUYA
分类号 H01L21/302;C23F1/08;C23F4/00;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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