发明名称 METHOD AND DEVICE FOR PROCESSING AFTER SEALING UP SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5582443(A) 申请公布日期 1980.06.21
申请号 JP19780154693 申请日期 1978.12.14
申请人 TOA SEIMITSU KOGYO KK 发明人 MAEDA KEIJI;OSADA MICHIO;OONISHI YOUTAROU
分类号 H01L21/56;B29C37/00;B29C37/02;B29C45/00 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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