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发明名称 EVALUATING METHOD FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5582447(A) 申请公布日期 1980.06.21
申请号 JP19780158254 申请日期 1978.12.16
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 TERAJIMA KAZUTAKA;INOUE SHIYOUICHI
分类号 G01N27/00;H01L21/66 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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