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发明名称 VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG EINER DUENNSCHICHT AUS ORGANISCHEN SCHICHTMATERIALIEN MITTELS IONENIMPLANTATION
摘要
申请公布号 DE2949784(A1) 申请公布日期 1980.06.19
申请号 DE19792949784 申请日期 1979.12.11
申请人 LORD CORP. 发明人 WILLIAM FERRALLI,MICHAEL
分类号 C23C14/12;B05D3/06;B05D7/24;C08F2/54;(IPC1-7):B05D7/24;B05D7/16;B05D3/00;C23C11/00;C03C17/28;C04B41/06;H01L21/26;H01B17/62 主分类号 C23C14/12
代理机构 代理人
主权项
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