| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON NITRIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5580706(A) |
申请公布日期 |
1980.06.18 |
| 申请号 |
JP19780153740 |
申请日期 |
1978.12.14 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
HASHIMOTO KAZUHIKO |
| 分类号 |
C30B25/02;C01B21/068;C23C16/34;C30B25/00;C30B29/38 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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