发明名称 MANUFACTURE OF SILICON RODS OR TUBES BY DEPOSITION
摘要
申请公布号 GB1569652(A) 申请公布日期 1980.06.18
申请号 GB19770017088 申请日期 1977.04.25
申请人 WACKER CHEMITRONIC GES FUER ELEKTRONIC-GRUNDSTOFFE MBH 发明人
分类号 C01B33/02;B28B21/00;C01B33/035;C23C16/01;C23C16/24;C30B25/00;C30B29/06;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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