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发明名称 VAKUUMHALTERUNG FUER HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD142406(A1) 申请公布日期 1980.06.18
申请号 DD19790211569 申请日期 1979.03.14
申请人 VOLLAND,LUTZ,DD;FIEGLER,KRAFT,DD 发明人 VOLLAND,LUTZ,DD;FIEGLER,KRAFT,DD
分类号 B25B11/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B25B11/00
代理机构 代理人
主权项
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