| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5580314(A) |
申请公布日期 |
1980.06.17 |
| 申请号 |
JP19780153073 |
申请日期 |
1978.12.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
WAKUI TAKAYUKI;MOCHIZUKI YASUHIRO;MISAWA YUTAKA;YATSUNO KOUMEI |
| 分类号 |
H01L21/761;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/761 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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