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发明名称 MANUFACTURE OF MULTIILAYER WIRING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5580336(A) 申请公布日期 1980.06.17
申请号 JP19780154540 申请日期 1978.12.12
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA MASARU
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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