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发明名称 MANUFACTURE OF MOS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5580333(A) 申请公布日期 1980.06.17
申请号 JP19780153550 申请日期 1978.12.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TOKUDA TAKESHI
分类号 H01L27/12;H01L21/86 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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