发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5578547(A) 申请公布日期 1980.06.13
申请号 JP19780153272 申请日期 1978.12.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ABIRU AKIRA
分类号 H01L27/04;H01L21/768;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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