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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5578527(A) 申请公布日期 1980.06.13
申请号 JP19780151919 申请日期 1978.12.11
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 IIZUKA HISAKAZU
分类号 H01L21/265;H01L21/324 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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