| 发明名称 |
INSPECTING METHOD OF CONTAMINATION IN ELECTRONNOPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5578451(A) |
申请公布日期 |
1980.06.13 |
| 申请号 |
JP19780151590 |
申请日期 |
1978.12.07 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRON OPTICS LAB |
发明人 |
GOTOU NOBUO;OKINO TERUAKI;YUASA TETSUO |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/02;H01J37/04;H01J37/26;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/308 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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