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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5578553(A) 申请公布日期 1980.06.13
申请号 JP19780150994 申请日期 1978.12.08
申请人 TORAY INDUSTRIES 发明人 HIRAMOTO TOSHI;EGUCHI MASUICHI
分类号 H01L23/29;H01L23/31 主分类号 H01L23/29
代理机构 代理人
主权项
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