| 发明名称 |
ELEKTRONENSTRAHL-BELICHTUNGSVORRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2949189(A1) |
申请公布日期 |
1980.06.12 |
| 申请号 |
DE19792949189 |
申请日期 |
1979.12.06 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA DENKI K.K. |
发明人 |
HIDAI,YUTAKA;OKUDA,NOBUO |
| 分类号 |
H04N1/387;H01J37/302;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/24;H01L21/31 |
主分类号 |
H04N1/387 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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