发明名称
摘要
申请公布号 DE2612328(C3) 申请公布日期 1980.06.12
申请号 DE19762612328 申请日期 1976.03.23
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO 发明人 NAITO, MASAYOSHI;KAMEI, TATSUYA
分类号 H01L21/322;H01L29/167;H01L29/744;H01L29/861;(IPC1-7):H01L29/36 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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