| 摘要 |
<p>Die zu untersuchende durchsichtige Schicht (12) wird mit weißem Licht unter konstantem Einfallswinkel bestrahlt und die Intensität zweier ausgewählter, voneinander verschiedener Wellenlängen im reflektierten Licht registriert. Inter ferenzerscheinungen in der Schicht mit kontinuierlicher Dickenänderung führen zu periodischen Intensitätsschwankungen bei beiden Wellenlängen. Durch Vergleich der beiden Intensitätskurven (z.B. zusammenfallende Extrempunkte A, B, C) kann die absolute Schichtdicke eindeutig bestimmt werden, obwohl die Ausgangsdicke der Schicht nur innerhalb eines bestimmten Bereichs bekannt ist. Zur Vereinfachung des Phasenvergleichs der beiden zyklischen Intensitätsmuster Können die Wellenlängen so ausgewählt werden, daß bestimmte Extrempunkte beider Signale bei einer Schichtdicke zusammenfallen, die geringer als die zu erwartende minimale Anfangsdicke ist und daß bei größeren Dicken bis einschließlich der maximalen erwarteten Anfangsdicke, keine Koinzidenz auftritt. Das Verfahren ist sowohl für additive als auch subtraktive Änderungen der Schichtdicke anwendbar. Die Einrichtung zur Schichtdickenmessung enthält Schmalbandfilter (31, 32) mit schiefem Strahleinfall, die als Strahlteiler wirken.</p> |
