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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5584961(U) 申请公布日期 1980.06.11
申请号 JP19780167200U 申请日期 1978.12.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/52;H01L21/58;H01L21/60;H01L23/04;H01L23/48;H01L29/74;(IPC1-7):H01L23/48 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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