| 发明名称 |
APPARECCHIATURA PERFEZIONATA PERL'IMPIANTAMENTO O BOMBARDAMENTO DI UN BERSAGLIO CON IONI. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT8022715(D0) |
申请公布日期 |
1980.06.11 |
| 申请号 |
IT19800022715 |
申请日期 |
1980.06.11 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
BAYER ERICH HANS;KRANIK ROBERT JOHN;MUELLER WOLFGANG FRIEDRICH |
| 分类号 |
C23C14/48;C23C14/50;C23C14/54;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/677;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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