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经营范围
发明名称
ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPS5577141(A)
申请公布日期
1980.06.10
申请号
JP19780151640
申请日期
1978.12.07
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
KAMINAKA SHIYOUICHI
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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