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发明名称 METHOD OF AND APPARATUS FOR DISCRIMINATING PPTYPE AND NNTYPE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5577149(A) 申请公布日期 1980.06.10
申请号 JP19780151388 申请日期 1978.12.07
申请人 MITSUBISHI METAL CORP;NIPPON DENSHI KINZOKU KK 发明人 TAKAHASHI RIYOUICHI;HORIOKA TOMOYOSHI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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