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发明名称 ANNEALING FURNACE
摘要
申请公布号 JPS5577145(A) 申请公布日期 1980.06.10
申请号 JP19780149608 申请日期 1978.12.05
申请人 USHIO ELECTRIC INC 发明人 HIRAMOTO TATEKU
分类号 F27B3/08;C21D1/26;H01L21/26;H01L21/324 主分类号 F27B3/08
代理机构 代理人
主权项
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