发明名称 |
TERMINATION DETECTING METHOD OF INSULATING FILM ETCHING |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS5574140(A) |
申请公布日期 |
1980.06.04 |
申请号 |
JP19780146489 |
申请日期 |
1978.11.29 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
IIJIMA SHINPEI;KAWAMOTO YOSHIFUMI |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|