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申请公布号 DE2204244(B2) 申请公布日期 1980.06.04
申请号 DE19722204244 申请日期 1972.01.29
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND CO., WILMINGTON, DEL. (V.ST.A.) 发明人 GERVAY, JOSEPH EDMUND, RED BANK, N.J. (V.ST.A.)
分类号 G03F7/004;G03F5/20;G03F7/11;(IPC1-7):G03C1/68;G03F7/10 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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