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发明名称 PLASMA CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPS5574099(A) 申请公布日期 1980.06.04
申请号 JP19780146621 申请日期 1978.11.29
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HAYASHI SOUICHIROU;TSUZUKI NAOHISA
分类号 G21B1/11;G21B1/00;H05H1/12 主分类号 G21B1/11
代理机构 代理人
主权项
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