发明名称 PRODUCTION OF GALLIUM ARSENIDE SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS5574132(A) 申请公布日期 1980.06.04
申请号 JP19780147414 申请日期 1978.11.29
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 UDAGAWA TAKASHI
分类号 H01L29/80;H01L21/205;H01L21/338;H01L29/76;H01L29/812;H01L43/10 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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