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发明名称 PREPARATION OF SILICON CRYSTAL AND ITS DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5573450(A) 申请公布日期 1980.06.03
申请号 JP19790151919 申请日期 1979.11.22
申请人 SIEMENS AG 发明人 YOOZEFU GURAAPUMAIYAA
分类号 C30B11/00;C30B11/14;C30B15/00;C30B15/06;C30B15/36;C30B29/06;H01L21/208 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
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