发明名称 |
METHOD OF AND DEVICE FOR INSPECTING SURFACE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5571937(A) |
申请公布日期 |
1980.05.30 |
申请号 |
JP19780145728 |
申请日期 |
1978.11.24 |
申请人 |
KANEBO LTD |
发明人 |
KAJIURA TOSHIHIRO;TANEDA NORIO;MORI MASAHIRO |
分类号 |
G01N21/85;B07C5/10;G01B21/00;G01N21/88;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/85 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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