发明名称 PREPARING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5572036(A) 申请公布日期 1980.05.30
申请号 JP19780146221 申请日期 1978.11.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YANO HIROSHI;YOUDA SEIICHI
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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