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发明名称
PREPARING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5572036(A)
申请公布日期
1980.05.30
申请号
JP19780146221
申请日期
1978.11.27
申请人
FUJITSU LTD
发明人
YANO HIROSHI;YOUDA SEIICHI
分类号
H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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