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发明名称 METHOD OF TRACING THE DEFECT PLACES IN ISOLATING LAYERS OF THE SAMPLES OF MICROELECTRONIC PARTS
摘要
申请公布号 CS197553(B1) 申请公布日期 1980.05.30
申请号 CS19760002646 申请日期 1976.04.22
申请人 RYSANEK,VLADIMIR,CS;VACKAR,JIRI,CS 发明人 RYSANEK,VLADIMIR,CS;VACKAR,JIRI,CS
分类号 G01N27/26;(IPC1-7):G01N27/26 主分类号 G01N27/26
代理机构 代理人
主权项
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