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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR TEILCHENSTROMIONISIERUNG UND HOCHRATEBESCHICHTUNG
摘要
申请公布号
DD141932(A1)
申请公布日期
1980.05.28
申请号
DD19780209846
申请日期
1978.12.18
申请人
REISSE,GUENTER,DD;ROST,MANFRED,DD;ERLER,HANS-JOERG,DD;HENNY,FRIEDRICH,DD;KLEMM,JOCHEN,DD
发明人
REISSE,GUENTER,DD;ROST,MANFRED,DD;ERLER,HANS-JOERG,DD;HENNY,FRIEDRICH,DD;KLEMM,JOCHEN,DD
分类号
H01J37/317;C23C8/38;C23C14/22;C23C14/46;H01J37/08;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/265;H05H1/38;H05H1/40;H05H1/42;(IPC1-7):C23C15/00
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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