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发明名称 POSITIONING DEVICE FOR SAMPLE STAND
摘要
申请公布号 JPS5569948(A) 申请公布日期 1980.05.27
申请号 JP19780144460 申请日期 1978.11.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MASUKO YOUJI
分类号 H01J37/20;G01N23/227;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/68 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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