发明名称 METHOD OF STABILIZING SURFACE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5570052(A) 申请公布日期 1980.05.27
申请号 JP19780143374 申请日期 1978.11.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 YOKOYAMA TAKASHI;SUZUKI HIROSHI;MUKAI JIYUNJI;IKEDA TAKAE
分类号 C08L83/00;C08K5/57;C08L83/04;H01L23/29;H01L23/31 主分类号 C08L83/00
代理机构 代理人
主权项
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