发明名称 CLAMPER FOR ULTRASONIC BONDING
摘要
申请公布号 JPS5568646(A) 申请公布日期 1980.05.23
申请号 JP19780142390 申请日期 1978.11.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 OOHASHI YOSHIO
分类号 H01L21/607;H01L21/60 主分类号 H01L21/607
代理机构 代理人
主权项
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