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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5568643(A)
申请公布日期
1980.05.23
申请号
JP19780142391
申请日期
1978.11.20
申请人
HITACHI LTD
发明人
KAWANOBE TOORU
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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