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发明名称
SEMICONDUCTOR SUPPORT ELECTRODE
摘要
申请公布号
JPS5568641(A)
申请公布日期
1980.05.23
申请号
JP19780142359
申请日期
1978.11.20
申请人
HITACHI LTD
发明人
ARAKAWA HIDEO;KUNIYA KEIICHI;KOTSUKAWA TAKASHI;OOHASHI MASABUMI
分类号
H01L21/52;H01L21/58
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
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