发明名称 HEAT TREATMENT JIG
摘要
申请公布号 JPS5568621(A) 申请公布日期 1980.05.23
申请号 JP19780143100 申请日期 1978.11.20
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 FUKUYAMA TOSHIHIKO;TADAMA NAOTAKE
分类号 H01L21/673;H01L21/22;H01L21/68 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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