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发明名称
Anordnung zur Erzeugung von Ultra-Hochvakuum
摘要
申请公布号
DE1539157(A1)
申请公布日期
1970.03.05
申请号
DE19671539157
申请日期
1967.03.10
申请人
SCHOENBORN,DIPL.-PHYS. WERNER;ICKERT,DIPL.-MIN.DR. LARS;RIEWE,HORST
发明人
WERNER SCHOENBORN,DIPL.-PHYS.;LARS ICKERT,DIPL.-MIN.DR.;RIEWE,HORST
分类号
F04B37/08;F04F9/00;H01J7/18
主分类号
F04B37/08
代理机构
代理人
主权项
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