发明名称 ELECTRON MICROSCOPE WITH SAMPLE PREPARING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5566847(A) 申请公布日期 1980.05.20
申请号 JP19780140692 申请日期 1978.11.14
申请人 NICHIDENSHI TECHNICS KK 发明人 MATSUDA HIROSHI;ODAJIMA SHIYUNICHI
分类号 H01J37/20;G01N1/28 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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