WERKWIJZE VOOR HET VORMEN VAN EEN PATROON.,申请号NL19790008368-传众专利搜索

发明名称	WERKWIJZE VOOR HET VORMEN VAN EEN PATROON.
摘要
申请公布号	NL7908368(A)	申请公布日期	1980.05.19
申请号	NL19790008368	申请日期	1979.11.15
申请人	HITACHI, LTD. TE TOKIO.	发明人
分类号	C23F4/00;C23F1/00;G03F7/00;G03F7/039;G03F7/36;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
主权项
地址