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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 GB1567312(A) 申请公布日期 1980.05.14
申请号 GB19760041513 申请日期 1976.10.06
申请人 FUTABA DENSHI KOGYO KK 发明人
分类号 H01J37/08;H01J3/04;H01J27/00;H01J27/08;H01J27/16;H01J27/18;H01J27/20;H01J37/317;H01L21/265;H05H7/08;(IPC1-7):H01J3/04 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
主权项
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