发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5563854(A) 申请公布日期 1980.05.14
申请号 JP19780137498 申请日期 1978.11.08
申请人 KYUSHU NIPPON ELECTRIC 发明人 IMAZAKI RIYUUICHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L23/48;H01L23/50 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址